NFL - Laboratori de Nano Fabricació
GINYS-ICFO-006
El NanoFabrication Lab (NFL) de l'ICFO és una instal·lació transversal dedicada a la fabricació i caracterització de dispositius fotònics nanoestructurats.
Les instal·lacions del laboratori, que inclouen una sala blanca ISO6/ISO7 de 200 m2 i altres espais d'entorn controlat, inclouen un conjunt complet d'eines i tècniques de nanofabricació d'última generació per a una àmplia gamma d'aplicacions òptiques, des de la biodetecció fins a les comunicacions òptiques, i que abasten una àmplia gamma. de materials, com polímers, semiconductors, metalls o cristalls. El laboratori també inclou eines per a la caracterització de materials i dispositius avançats.
Serveis
Tècniques disponibles
Deposició de pel·lícula fina
• Evaporació tèrmica i e-beam
• Polvoreig
• Dipòsit de capa atòmica (ALD)
Imatge
• Microscòpia electrònica d’escaneig (SEM)
Gravat en sec
• Gravat d’ions reactius (RIE)
Topografia superficial
• Microscòpia de força atòmica (AFM)
• Profilometria
Litografia
• Litografia E-beam (EBL)
• Litografia òptica (alineador sense màscara)
Anàlisi i metrologia
• El·lipsometria espectroscòpica
Nanomecanització i nanoanalítica
• Feix d’ions enfocat (FIB)
Activació i neteja de superfícies
• Neteja/cendra de plasma
• Neteja amb ozó
Equipament
- Lesker LAB18
- Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP 180
- Heidelberg Maskless Aligner MLA150
- CRESTEC CABL-9510C
- Zeiss Auriga CrossBeam
- Zeiss Orion NanoFab
- Park NX10 / Park NX20
Personal
Prof. Dr. Niek van Hulst | niek.vanhulst@icfo.eu
| +34 935534036 | ORCID
Dr. Johann Osmond | johann.osmond@icfo.eu
| +34 935534030 | ORCID
Francisco Javier Pérez Díaz | javier.perez@icfo.eu
| +34 935534030
Paula Díaz Carreras | Paula.Diaz@icfo.eu
| +34 935534030
