NFL - Laboratorio de Nano Fabricación
GINYS-ICFO-006
El Laboratorio de Nano Fabricación (NFL) del ICFO es una instalación transversal dedicada a la fabricación y caracterización de dispositivos fotónicos nanoestructurados.
Las instalaciones del laboratorio, que comprenden una sala limpia ISO6/ISO7 de 200 m2 y otros espacios de ambiente controlado, incluyen un conjunto completo de herramientas y técnicas de nanofabricación de última generación para una amplia gama de aplicaciones ópticas, desde biodetección hasta comunicaciones ópticas, y que abarcan una amplia gama. de materiales, como polímeros, semiconductores, metales o cristales. El laboratorio también incluye herramientas para la caracterización avanzada de materiales y dispositivos.
Servicios
Técnicas disponibles
Deposición de película delgada
• Evaporación térmica y por haz de electrones
• chisporroteo
• Deposición de capas atómicas (ALD)
Imágenes
• Microscopía Electrónica de Barrido (SEM)
Grabado en seco
• Grabado de iones reactivos (RIE)
Topografía superficial
• Microscopía de fuerza atómica (AFM)
• Perfilometría
Litografía
• Litografía por haz de electrones (EBL)
• Litografía óptica (alineador sin máscara)
Análisis y metrología
• Elipsometría espectroscópica
Nanomaquinaria y nanoanálisis
• Haz de iones enfocado (FIB)
Activación y limpieza de superficies.
• Incineración/limpieza de plasma
• Limpieza con ozono
Equipos
- Lesker LAB18
- Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP 180
- Heidelberg Maskless Aligner MLA150
- CRESTEC CABL-9510C
- Zeiss Auriga CrossBeam
- Zeiss Orion NanoFab
- Park NX10 / Park NX20
Personal
Paula Díaz Carreras | Paula.Diaz@icfo.eu
| +34 935534030
Francisco Javier Pérez Díaz | javier.perez@icfo.eu
| +34 935534030
Prof. Dr. Niek van Hulst | niek.vanhulst@icfo.eu
| +34 935534036 | ORCID
Dr. Johann Osmond | johann.osmond@icfo.eu
| +34 935534030 | ORCID
